集成電路
iTomic? MW系列批量式原子層沉積系統(tǒng)
iTomic? MW系列批量式原子層沉積系統(tǒng)采用創(chuàng)新的批量型（mini-batch）腔體設(shè)計(jì)，可一次處理25片12英寸晶圓，適用于成膜鍍率低，厚度要求高，以及產(chǎn)能要求高的關(guān)鍵工藝及應(yīng)用。iTomic? MW系列產(chǎn)品利用特有的流場(chǎng)設(shè)計(jì)，具有成膜速度快，占地面積小，產(chǎn)能高、使用成本低等優(yōu)勢(shì)，為存儲(chǔ)芯片以及Micro-OLED顯示器、MEMS等提供定制化量產(chǎn)的解決方案。
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