用于TOPCon, XBC, TOPCon+HJT等高效電池技術(shù)路線的應(yīng)用
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All-in-one 鍍膜技術(shù)，可在同一工藝管內(nèi)連續(xù)完成超薄隧穿氧化層，非晶硅層，原位摻雜多晶硅層以及原位掩膜層的沉積，極大地簡化了生產(chǎn)工藝
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優(yōu)異的溫度控制和等離子控制系統(tǒng)，搭配超高載片量的石墨舟設(shè)計(jì)，在確保設(shè)備產(chǎn)能的同時(shí)大幅提升電池轉(zhuǎn)換效率
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精準(zhǔn)制備 SiOx/Poly-Si(n+),Poly-Si(i),Poly-Si(p+),SiNx, SiONx, SiC, SiOx 等疊層膜，優(yōu)異的薄膜厚度均勻性
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多晶硅原位摻雜濃度（1E20~1E21）可調(diào)
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針對(duì)新型PE-TOPCon電池技術(shù)核心的隧穿氧化層與多晶硅薄膜研發(fā)了可鍍導(dǎo)電膜、原位摻雜與無爆膜的管式PECVD ToxPoly同管集成技術(shù)，研究成果被廣泛轉(zhuǎn)載并成功完成產(chǎn)業(yè)化，受到了行業(yè)的認(rèn)可，市場占有率快速攀升
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