用于 PERC, TOPCon, XBC等高效電池技術(shù)路線的應(yīng)用
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優(yōu)異的溫度控制和等離子控制系統(tǒng)，可兼容PECVD工藝，搭配超高載片量的石墨舟設(shè)計(jì)，在確保設(shè)備產(chǎn)能的同時大幅提升電池轉(zhuǎn)換效率
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精準(zhǔn)制備薄膜厚度小于2nm的隧穿氧化硅，同時兼容多種材料與工藝，包括 SiO?/poly-Si(n+), poly-Si(p+), Al?O?/SiNx 等
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提供 TOPCon 量產(chǎn)工藝 PEALD/ PECVD 路線集成技術(shù)，鈍化接觸技術(shù)所需多晶硅原位摻雜濃度（1E20~1E21）可調(diào)
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針對新型PE-TOPCon電池技術(shù)核心的隧穿氧化層與多晶硅薄膜研發(fā)了可鍍導(dǎo)電膜、原位摻雜與無爆膜的管式PEALD/PECVD ToxPoly同管集成技術(shù)，研究成果被廣泛轉(zhuǎn)載并成功完成產(chǎn)業(yè)化
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